LWALP系列朗缪尔探针诊断系统
- 产品型号:
- LWALP-170
一、主要特点 二、单探针(柱形探针、平面探针、球形探针) 三、双探针 四、空间分布测量 五、直流补偿 六、射频补偿
朗缪尔探针诊断系统是一种测试等离子体参数的关键诊断工具,可以对等离子体密度、电子温度、等离子体电流密度等参数进行实时在线监测。
朗望科技自主研制的朗缪尔体探针诊断系统(以下简称LWALP系统)可以对主要的等离子体参数: 等离子体密度、电子温度、离子电流密度、等离子体电位、悬浮电位等,进行实时在线监测;
朗望科技创新的航天电子技术和真空条件下的WIFI高可靠通讯技术,保证 LWALP系统设备可完全置于真空环境下工作,避免了测量信号穿舱带来的麻烦,大大降低了设备布置的难度,极大提高了系统的测量准确度;
中国航天、中科院、中国电科等大量等离子体研究机构研究人员的苛刻测试验证,朗望科技对技术、产品精益求精的迭代优化保证了LWALP系统测量的准确性。
LWALP系统可对直流、脉冲直流、微波和射频等离子体进行诊断测试。标准探针轴的长度为300mm,也可根据需求延长至1.5m。嵌入式的探头固定装置能够有效防止在探针采集区域由于溅射导电层引起的增量。简单适宜的探头固定设计使得探头的更换十分容易。标准探针材料为钨,也可由钼、铂、因瓦合金等制成。根据用户要求,我们可定制不同长度、直径、材料和形状的探针,同时分析软件的升级也十分简便。
双探针可针对接地情况不佳的现场加以应用,可用于RF/pRF和DC/pDC等环境。并可测得高密度等离子体。探头清洁作为标准配置,自动清洁功能使得清洁探头更加容易,尤其对于沉积等离子体特别有用。ALP系统的应用软件可支持自动清洁和手动清洁双重操作。
使用三维线性驱动系统(三维空间X*Y*Z尺寸:500*500*500mm)能将朗缪尔探针深入到等离子体腔室的不同位置中,在探针所达位置,可测得附近等离子体的关键参数,绘制出大多数等离子体性质的清晰图片。
预扫描模式可以排除对直流补偿电极的需求,在探针消耗不同电流时,能检测到IV特征曲线中电压的漂移。亦可确定等离子体的对地电阻,同时加以适当的修正。
本系统配置的探针轴由金属制成,覆以精良的陶瓷层,使得探头对等离子体的耦合最佳化,可排除对补偿电极的需求。
等离子体参数诊断范围 |
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ALP系统控制单元参数 |
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悬浮电位(Vf) |
-165V~165V |
电压扫描范围 |
-170V~+170V |
等离子体电位(Vp) |
-80V~165V |
电流扫描范围 |
15nA~150mA |
等离子体密度(Ne) |
10^6~3.2x10^13cm^-3 |
通讯方式 |
WiFi,LAN |
离子电流密度(Ni) |
3nA/cm^2~25mA/cm^2 |
采样速率 |
1.0 MSPS (V,I) |
电子温度(kTe) |
0.1~10eV |
应用软件 |
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朗缪尔探针 |
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操作系统 |
Windows7以上
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直流,脉冲直流,微波等离子体 |
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运动定位机构
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长度 |
200mm~1.5m,可定制其他长度 |
三维行程 | XYZ:500*500*500mm,其他可定制 |
直径 |
0.2mm~10mm |
真空度 |
漏率≤5*10^-7(Pa*m^3/s) |